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半導(dǎo)體廢氣處理
點(diǎn)擊數(shù)：2539次　添加時(shí)間：2018/8/21　[打印] [返回] [收藏]

半導(dǎo)體廢氣處理介紹
半導(dǎo)體制造工藝業(yè)需要多種特殊氣體，大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體等，這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用，產(chǎn)生的廢氣通過排風(fēng)系統(tǒng)收集并處理，如果沒有經(jīng)過很好的處理就進(jìn)行排放的話，不僅影響人的身體健康還惡化大氣環(huán)境。